序号

项目名称

建设地点

建设单位

建设项目概况

公众参与情况

相关环保措施承诺

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

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6英寸高端特色硅基晶圆代工项目

丽水南城七百秧D-30-1工业地块

浙江广芯微电子有限公司

浙江广芯微电子有限公司成立于2021年10月，企业看好晶圆代工市场发展前景，通过公开竞价竞得丽水南城七百秧区块D-30-1工业地块，地块总占地面积98781m2，拟在该地块新建厂房、仓库及附属设施，实施6英寸高端特色硅基晶圆代工项目。项目主要采用光刻、刻蚀、离子注入、扩散、台面腐蚀等生产技术，购置涂胶机、曝光机、显影机、干刻机等国产、进口设备，项目建成后将形成年产120万片6英寸高端特色硅基晶圆的生产能力。

已进行公参

建设单位承诺将按照建设项目环境影响报告表及批复要求，在设计、施工、试生产及竣工验收过程中，严格落实各项环境保护对策措施，严格执行环保设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投入使用的环保“三同时”制度。

废气：厂房排风不需要经过处理，可直接排放，排风经15m排气筒排放；酸性废气经碱液喷淋塔处理后，经由15m排气筒（DA001）排放；不含砷工艺尾气采用电热+水洗SCURBBER净化装置处理，处理后尾气再纳入酸性废气处理系统处理后，最终由15m排气筒（DA001）排放；含砷工艺废气采用干式吸附SCURBBER净化装置处理+二级吸附处理系统处理，处理后尾气纳入酸性废气处理系统处理；碱性废气经酸液喷淋塔处理后，由15m排气筒（DA002）排放；有机废气经沸石浓缩轮转焚烧系统进行处理，经15m排气筒（DA003）排放；废气处理装置天然气燃烧废气经有机废气排气筒（DA003）排放；污水处理站酸碱系统废气经15m排气筒（DA004）、污水处理站有机系统废气经15m排气筒（DA005）排放。其中氟化物、氯化氢、氮氧化物、硫酸雾、非甲烷总烃、氯气排放满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）中新污染源大气污染物最高允许排放浓度的二级标准值及无组织排放监控限值，其中砷及其化合物、氨满足北京市《大气污染物综合排放标准》（DB11/501-2017）表3II时段标准，污水处理站废气满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准。

废水：有机废水经AAO工艺处理后，含氟废水、含磷废水采用“CaCl2混凝沉淀法”进行处理后，研磨废水采用“混凝沉淀法”进行处理后，均汇入酸碱废水处理系统；工艺酸碱废水、纯水制备系统反洗水、酸碱再生废水均经酸碱废水处理系统进行处理后纳管排放；生活污水经隔油池、化粪池处理后纳管排放。废水排放的各类污染物符合《电子工业水污染排放标准》（GB39731-2020）中表1间接排放限值（其中氨氮排放执行《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）中标准限值）。

噪声：针对项目运行产生的噪声，主要采取以下防治措施：合理布局，选用低噪声的设备和机械；在设备与基础之间安装减震材料，如橡胶、弹簧、减震垫等；风机、水泵设置隔声罩，风机设备进出口要安装消声器；定期维护设备，避免老化引起的噪声，必要时应及时更换。

 固体废物：危险废物废酸液、废有机溶剂、硫酸铵废液、氟化钙污泥、研磨污泥、有机污泥、废抹布（沾染化学物质）、废过滤芯、废化学品包装材料、废铅酸电池和镉电池、废汞灯、废矿物油、废填料、废硝酸、废吸附过滤介质收集后委托有资质单位处置；生活垃圾分类收集后委托环卫部门统一清运处置。